Intel kauft bei ASML

Wettrennen um 2-nm-Chips

21. Januar 2022, 7:10 Uhr | Heinz Arnold
Montage eines EUV-Lithografiegeräts
Montage eines EUV-Lithografiegeräts von ASML.
© ASML

Intel will das erste EUV-System vom Typ »TWINSCAN EXE: 5200« kaufen, um 2-nm-ICs fertigen zu können und TSMC einzuholen.

Die »TWINSCAN EXE: 5200« ist das erste EUV-System von ASML, das eine hohe numerische Apertur (NA) von 0,55 aufweist. Damit setzt Intel die enge Zusammenarbeit mit ASML auf dem Gebiet der High-NA-EUV-Maschinen fort, um 2025 die Produktion von ICs mit Hilfe der neuen »TWINSCAN EXE: 5200« aufnehmen. Die Vorgängerversion »TWINSCAN EXE:5000« kommt derzeit auf eine NA von 0,33. Zudem erhöhte ASML die Geschwindigkeiten der Wafer- und Reticle-Bühnen, so dass die neue Maschine einen Durchsatz von 220 Wafern pro Stunde erreicht. Die »TWINSCAN EXE:5000« verarbeitet 150 Wafer pro Stunde. Intel hatte diese Version schon 2018 gekauft. Die neue Version soll 2024 auf den Markt kommen.

Damit könnten laut Martin van den Brink, President und CTO von ASML, die IC-Hersteller Kosten, Zeit und Energie sparen. Das verschaffe Moore´s Law bis in das nächste Jahrzehnt hinein Geltung.

Auch TSMC wird sich die neue EUV-Maschine von ASML beschaffen und will als erstes Unternehmen die Fertigung von 2-nm-ICs aufnehmen, wie die Taipei Times erfahren haben will. Danach habe Intel noch einen langen Weg zu gehen, um TSMC einholen zu können, denn der frühe Kauf der »TWINSCAN EXE: 5200« würde noch nicht bedeuten, auch als erstes die Fertigung von 2-nm-ICs aufnehmen zu können. TSMC plant die Aufnehme der Produktion dieser Chips ebenfalls für 2025. Sie wären dann laut TSMC die leistungsfähigsten ICs der Welt.


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