US-Exportrestriktionen

ASML trifft es noch einmal hart

30. Januar 2023, 7:05 Uhr | Heinz Arnold

Durfte ASML bisher die modernsten EUV-Lithografiegeräte nicht nach China liefern, so fallen jetzt höchstwahrscheinlich auch die älteren DUV-Maschinen darunter.

Das wird ASML, die rund 20 Prozent des Umsatzes mit China erwirtschaftet, empfindlich treffen. Auch für die relativ starke Equipment-Branche in Japan dürfte dies keine gute Nachricht sein. Doch es gibt übergeordnete Gründe für den Schritt. Mit dem Ziel, China die Möglichkeit zu nehmen, mit Hilfe der modernsten Maschinen für die Halbleiterfertigung aus westlicher Produktion in eigenen Fabs die fortschrittlichsten ICs zu fertigen, hatten in Washington Verhandlungen mit Delegationen aus den USA und den Niederlanden stattgefunden, die laut Bloomberg jetzt abgeschlossen werden konnten.

Ergebnis: Japan und die Niederlande übernehmen die strengen Regelungen der USA. Das wird auch Auswirkungen auf die deutsche Karl Zeiss in Oberkosen haben, die die optischen Systeme sowohl für die DUV-Maschinen (Deep Ultraviolett, was die Lichtwellenlängen 248 nm und 193 m umfasst) als auch für die EUV-Maschinen (Extreme Ultraviolett, 13,5 m) in Oberkochen produziert und damit als einer der wichtigsten Zulieferer von ASML gilt. Trumpf liefert die Laser-Quellen für die EUV-Typen zu.

Allerdings könnte das dauern, bis die Regelungen umgesetzt sind, wie die FAZ berichtet. Auf Anfrage hätte ASML mitgeteilt: »Nach unserem Verständnis sind Schritte hin zu einer Einigung zwischen den Regierungen gemacht worden, die sich auf fortgeschrittene Chipherstellungstechnologie konzentrieren.« Die Details müssten nun festgelegt und in Gesetze gegossen werden. Welche Maschinen von ASML nun genau unter die Sanktionen fallen werden alle DUV-Geräte oder nur bestimmte –, ist derzeit wohl noch ein Stückweit offen.

Als die USA die verschärften Sanktionen gegen China Anfang Oktober 2022 verkündet hatten, geschah das nur einseitig. Allerdings sitzt ASML in den Niederladen. Als einziger Hersteller weltweit ist das Unternehmen in der Lage, EUV-Lithografiegeräte zu fertigen, ohne die die modernsten ICs wie Prozessoren und KI-Chips nicht in hohen Stückzahlen produziert werden können. Auch im Sektor der DUV-Maschinen hat ASML eine weltweit führende Position inne. In Japan sitzen eine Reihe weltweit führender Unternehmen, die Equipment und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellen. Deshalb lag es im Interesse der USA, dass sich diese beiden Länder der harten Linie der USA anschließen, denn ohne deren Mitwirken wären die Sanktionen der USA alleine sehr löchrig geblieben.

Doch das Thema ist aus Sicht von Japan und den Niederlanden äußerst heikel, China ist immer noch ein wichtiger Handelspartner. Deshalb verzichten die Beteiligten darauf, das Ergebnis ihrer Verhandlungen gemeinsam öffentlich bekannt zu geben. »Das ist so ein heikles Thema, dass die niederländische Regierung sich entschlossen hat, nur sehr eingeschränkt zu kommunizieren«, hatte Mark Rutte, Ministerpräsident der Niederlande kürzlich gesagt. Bleibt also erst einmal abzuwarten, wie genau die Details der Eingung aussehen und wann die Sanktionen greifen werden.