Dr. Thomas Reisinger, Infineon

»300 Millimeter is coming home«

17. Januar 2022, 15:00 Uhr | Ralf Higgelke
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Dr. Thomas Reisinger,Infineon Technologies Austria: »Durch eine stringente Projektplanung und die Unterstützung unserer externen Partner konnte die neue 300-mm-Wafer-Fab trotz Corona früher als geplant in Betrieb gehen.«
© Infineon Technologies

Im September 2021 hat Infineon seine neue 300-mm-Wafer-Fab in Villach eröffnet. Markt&Technik fragt Dr. Thomas Reisinger, Vorstand Operations der Infineon Technologies Austria, nach Details zu dieser Fab und wie diese trotz Pandemie vor dem anvisierten Termin fertiggestellt werden konnte.

Markt&Technik: Herr Reisinger, welche Gedanken schossen Ihnen durch den Sinn, als Sie zum ersten Mal hörten, dass in Villach eine komplett neue 300-mm-Fab gebaut wird?

Dr. Thomas Reisinger: Natürlich waren wir aus Villach heraus auch in den Entscheidungsprozess involviert. Als aber die Entscheidung auf uns fiel, war einer der ersten Gedanken sicher: It‘s coming home! Die 300-mm-Technologie wurde vor etwa zehn Jahren hier in Villach entwickelt, ging dann aber in Dresden in die Volumenfertigung, weil dort der entsprechende Platz zur Verfügung stand. Villach ist das langjährige, globale Kompetenzzentrum für Leistungselektronik sowie die Innovationsfabrik im Konzern, daher war es für alle eine große Freude, dass diese Mega-Investition von 1,6 Milliarden Euro in eine 300-mm-Dünnwafer-Fabrik hier in Villach getätigt wurde.

Können Sie uns beschreiben, welche besonderen Herausforderungen darin liegen, eine Wafer Fab zu bauen?

Bei einer Wafer Fab handelt es sich definitiv um die Champions League des Industriebaus, weil die Anforderungen dort sehr vielfältig sind. Das geht von der Stabilität und der Schwingungsresistenz des Baukörpers bis hin zu extrem komplexen Infrastruktursystemen für den Reinraum. Auch die Prozessmedien müssen sicher und zuverlässig zu- und wieder abgeführt werden. Beim Bau müssen alle Zahnräder optimal ineinandergreifen, um Zeit- und Umsetzungspläne einzuhalten. Das eine ist der Bau an sich, um »Ready for Equipment« zu sein, das andere dann das Einbringen und Hochfahren der ersten Anlagen und Tools bis zum »Ready for Production«.

Im September 2021 hat Infineon seine neue 300-mm-Waferfab in Villach eröffnet. Zu Details zu der Fab und wie diese trotz Pandemie vor dem anvisierten Termin fertiggestellt werden konnte, fragten wir Dr. Thomas Reisinger, COO Infineon Technologies Austria.

A propos Zeit- und Umsetzungspläne einhalten – als Infineon im Mai 2018 öffentlich machte, diese Fab zu bauen, war natürlich noch nicht absehbar, dass ab Anfang 2020 eine weltweite Pandemie über uns hereinbricht. Wie hat es Ihr Team geschafft, diese unvorhersehbare Herausforderung zu meistern?

Wichtige Vorarbeiten – Verhandlungen und Verträge mit General- und Subunternehmen, Sicherung von Material und Equipment – waren bereits vor der Pandemie abgeschlossen. Dann kamen die Herausforderungen mit dem Virus und dem Infektionsrisiko an sich hinzu, staatliche Auflagen, die angespannten oder sogar unterbrochenen Lieferketten und Verfügbarkeiten bei Materialien sowie die Einreise für internationale Fachkräfte, die sich extrem schwierig gestaltete.

Wir mussten schnell agieren, konnten aber bereits in einer sehr frühen Phase die betrieblichen Schutz- und Hygienemaßnahmen professionell und konsequent umsetzen. Wir waren gefordert, unsere Organisation, die gesamte Produktion, aber auch die Bautätigkeiten der neuen Chipfabrik ständig an veränderte Gegebenheiten anzupassen. Der Baubetrieb konnte unter Einhaltung aller Abstands- und Hygienemaßnahmen plangemäß weitergeführt werden. Diese betrieblichen Maßnahmen und das aktive Mitwirken aller am Bau beteiligten Menschen und Gewerke hat einen reibungslosen und effizienten Ablauf ermöglicht.

Sie sprachen davon, dass der Baubetrieb plangemäß weitergeführt werden konnte. Aber die Wafer-Fab ist früher als geplant in Betrieb gegangen. Wie hat Ihr Team das trotz Corona erreicht?

Ausschlaggebend dafür war eine extrem stringente Projektplanung nicht nur unsererseits, sondern auch vonseiten unserer externen Partner. Da haben die Zahnräder sehr gut ineinandergegriffen, und es herrschte eine hohe Motivation und Kooperationsbereitschaft von allen Seiten. Dadurch war es auch möglich, die Eröffnung um rund drei Monate vorzuziehen.

Halbleiterchips zu produzieren ist ja eine sehr energieintensive Angelegenheit. Trotzdem hat Infineon bei dieser Wafer Fab sehr auf die Umweltbilanz geachtet. Erzählen Sie uns mehr darüber.

Wir produzieren hier Leistungshalbleiter, die das Leben nicht nur einfacher und sicherer machen, sondern am Ende auch Energie sparen und unser Leben umweltfreundlicher machen. Daher gehört es zu unserem Selbstverständnis, sowohl in der neuen Fabrik wie auch am ganzen Standort auf Nachhaltigkeit in der Produktion zu setzen. Wir erfüllen nicht einfach nur gesetzliche Vorgaben – diese können sich ja auch ändern –, sondern wir sind beim Thema nachhaltige Produktion auf der Höhe der Zeit. Ein paar Beispiele sollen das verdeutlichen:

80 Prozent des Wärmebedarfs am Standort decken wir durch intelligentes Recycling der Abwärme der Kühlsysteme aus der Produktion. Damit heizen wir Büros und Labore, wodurch wir künftig hochgerechnet rund 20.000 Tonnen CO2 jährlich einsparen. Der flächendeckende Einsatz von Abluftreinigungssystemen reduziert direkte Emissionen auf nahezu Null.

Ein weiterer Meilenstein im Sinne nachhaltiger Produktion und Kreislaufwirtschaft ist die Herstellung und Wiederverwertung von »grünem« Wasserstoff vor Ort. Üblicherweise wird dieses Prozessgas von Partnern irgendwo in Europa hergestellt – oft nicht sehr klimaschonend – und dann per LKW tiefgekühlt angeliefert. Aber ab Sommer 2022 wollen wir den benötigten Wasserstoff direkt vor Ort aus erneuerbaren Energiequellen produzieren. Damit entfallen die CO2-Emissionen bei der ursprünglichen Produktion sowie beim Transport. Nach der Nutzung in der Chipproduktion wiederverwertet, sollen mit dem Gas die Busse im öffentlichen Nahverkehr betankt werden. Mit der Umsetzung der Elektrolyseanlage am Infineon-Standort Villach sind wir für die Zukunft in zweierlei Hinsicht gerüstet: mit einem wichtigen Beitrag zum Klimaschutz wie auch der notwendigen Versorgungssicherheit.


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