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Neue 300-mm-Fab in Dresden

Erster Meilenstein erreicht und abgehakt

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Rund 1 Milliarde Euro investiert Bosch in den Bau der 300-mm-Fab in Dresden. Staatlich gefördert wird der Neubau durch Zuwendungen des Bundesministeriums für Wirtschaft und Energie.
© Bosch

Exakt im Zeitplan verläuft bislang der Bau und die schrittweise Inbetriebnahme der 300-mm-Fab von Bosch in Dresden. Konzipiert für die Produktion von Leistungshalbleitern und hochkomplexen integrierten Schaltungen, soll der Produktionsstart zum Jahresende 2021 erfolgen.

Zu Beginn der zweiten Märzwoche dieses Jahres haben im neuen 300-mm-Werk von Bosch in Dresden die ersten Wafer vollautomatisiert die Fertigung durchlaufen. Ein entscheidender Zwischenschritt zum Produktionsstart, den Bosch nach eigener Darstellung für Ende 2021 plant. In der am Konzept Industrie 4.0 ausgerichteten, komplett digitalisierten und hochvernetzten Halbleiterfabrik werden in Zukunft unter anderem Leistungshalbleiter für Automotive-Anwendungen produziert. Mit dem Bau der neuen Fabrik reiht sich Bosch in eine Handvoll Leistungshalbleiter-Hersteller ein, die bereits aktuell oder in naher Zukunft Leistungshalbleiter auf 300-mm-Fertigugslinien produzieren.

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Harald Kröger, Robert Bosch: »Unsere neue 300-mm-Halbleiterfabrik in Dresden setzt Maßstäbe bei Automatisierung, Digitalisierung und Vernetzung.«
© Bosch

»Aus Dresden kommen schon bald Chips für die Mobilität der Zukunft und mehr Sicherheit im Straßenverkehr. Noch in diesem Jahr wollen wir die Chipfabrik der Zukunft eröffnen«, versichert Harald Kröger, Geschäftsführer von Robert Bosch. Mit dem Neubau erweitert Bosch seine bereits bestehenden Produktionskapazitäten im Halbleiterwerk in Reutlingen bei Stuttgart. Bosch investiert in den Neubau der 300-mm-Halbleiter-Fab in Dresden rund 1 Milliarde Euro. Gefördert wird die Errichtung des Werks in Dresden durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Energie. Mit der Eröffnung zum Jahresende hin dürfte das neue Werk einen entscheidenden Beitrag zur Halbleiter-Versorgungssicherheit für den Automotive Tier One Bosch darstellen.

Bereits seit Ende Januar dieses Jahres durchlaufen die ersten Wafer die Fertigung in Dresden. Daraus fertigt Bosch Leistungshalbleiter, die beispielsweise in Elektro- und Hybridfahrzeugen zum Einsatz kommen. In Summe durchlaufen die Wafer dazu sechs Wochen lang die Fertigung und passieren dabei vollautomatisiert rund 250 einzelne Arbeitsschritte. Seit März hat Bosch darüber hinaus mit den ersten Fertigungsabläufen von hochkomplexen integrierten Schaltungen begonnen. Dabei durchlaufen die Wafer auf dem Weg zum fertigen Halbleiterchip in mehr als zehn Wochen rund 700 Prozessschritte.

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Leistungshalbleiter und hochkomplexe integrierte Schaltungen kann Bosch in Zukunft auf seinen 300-mm-Wafern produzieren. Je nach Produkt passen bis zu 31.000 Chips auf einen Wafer.
© Bosch

Bei der gewählten 300-mm-Technologie passen auf einen 12-Zoll-Wafer je nach Art des zu produzierenden Halbleiters bis zu etwa 31.000 Chips. Im Vergleich zur etablierten Fertigung mit kleineren 150- und 200-mm-Wafern erzielt Bosch damit deutlich höhere Skaleneffekte und stärkt dadurch seine Wettbewerbsfähigkeit in der Halbleiterproduktion. Für ein besonderes Maß an Effizienz in der Fertigung sorgt dabei in Dresden die Vollautomatisierung der Fertigung sowie der Datenaustausch zwischen den Maschinen in Echtzeit. »Unsere neue Halbleiterfabrik setzt Maßstäbe bei Automatisierung, Digitalisierung und Vernetzung«, hebt Kröger hervor.

Mit dem Bau des neuen Werks auf einem rund 100.000 m2 großen Grundstück im Dresdner „Silicon Valley“ hatte Bosch bereits im Juni 2018 begonnen. Ende 2019 war dann die Außenhülle des High-Tech-Werks mit seiner Gesamtnutzfläche von fast 72.000 m2 fertiggestellt. Im Anschluss daran begann der Innenausbau, und die ersten Fertigungsmaschinen zogen in den Reinraum. Ein erster automatisierter Kurzdurchlauf erster Teile der hochkomplexen Fertigungstechnik fand dann im November letzten Jahres statt. In der Endausbauphase sollen in der Fertigung in Dresden, deren offizielle Eröffnung Bosch bislang für den Juni 2021 plant, dann bis zu 700 Mitarbeiter arbeiten. Ihre Aufgaben werden im Wesentlichen in der Steuerung und Überwachung der Produktion und der Wartung der Maschinen bestehen. 


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