Niederlande folgen USA

Neue Ausfuhrrestriktionen für Chip-Equipment

10. März 2023, 7:35 Uhr | Heinz Arnold

Die Regierung der Niederlande will dem Embargo der USA folgen und den Export von Maschinen für die Halbleiterfertigung einschränken, was Firmen wie ASML und ASM International trifft.

ASML hatte bisher ihre EUV-Maschinen nicht mehr nach China geliefert. Im Sektor dieser Maschinen, die für die Fertigung der neusten IC-Generationen unerlässlich sind, besitzt das niederländische Unternehmen derzeit weltweit ein Monopol.

Nach der jüngsten Entscheidung der niederländischen Regierung – in der China nicht ausdrücklich genannt wurde – müsste nun auch genau geprüft werden, welche DUV-Maschinen exportiert werden dürfen. Laut Handelsministerin Liesje Schreinermacher sollen die neuen Bestimmungen für den Export von Maschinen für die Halbleiterfertigung nicht vor dem Sommer eingeführt werden. Dies sei aus Gründen der nationalen Sicherheit erforderlich. ASM International, wie ASML ehemals aus Philips hervorgegangen, bietet unter anderem Maschinen für die Atomic Layer Deposition (ALD) an, die für die Produktion moderner IC-Generationen erforderlich sind. Auch auf sie könnten sich die neuen Ausfuhrbestimmungen auswirken.

ASML erklärte, dass sich die neuen Bestimmungen auf »die am fortgeschrittensten« Maschinen erstrecken sollten – nicht alle Immersion-DUV-Systeme seien davon betroffen. Was genau unter »am fortgeschrittensten« zu verstehen sei, wäre noch unklar. ASML geht davon aus, dass die eigenen Tools ab der »TWINSCAN NXT:2000i« gemeint seien. Für solche Geräte müssten künftig wohl Ausfuhrlizenzen bei der niederländischen Regierung beantragt werden. ASML geht aber davon aus, dass es noch einige Zeit dauern werde, bis die neuen Regelungen in Gesetzesform gebracht werden könnten und rechnet nicht damit, dass der ursprüngliche Ausblick für das Geschäftsjahr 2023 revidiert werden müsse. Vom dritten Quartal auf das vierte Quartal 2022 ist der Anteil des Umsatzes, den ASML in China erwirtschaftet hatte, nach eigenen Angaben von 15 auf 9 Prozent gefallen. Der Anteil mit Taiwan ist im gleichen Zeitraum von 47 auf 48 Prozent gestiegen, der mit Südkorea von 24 auf 28 Prozent, der Anteil mit den USA von 5 auf 7 Prozent.

Bloomberg hat angemerkt, dass die Restriktionen der Niederlande nicht im vollen Umfang denen der USA entsprächen, denn in den US-Ausfuhrbestimmungen sei auch geregelt, welche IC-Typen auf den Maschinen gefertigt werden dürfen und ob die Hersteller eigene Service-Mitarbeiter nach China schicken dürfen, um Wartungsarbeiten durchzuführen. Davon sei in den geplanten Restriktionen der Niederlande nicht die Rede gewesen.

Die USA, Japan und die Niederlande hatten seit Oktober vergangenen Jahres Gespräche geführt, nachdem die USA mit einem Embargo gegen China vorgeprescht waren. Die USA wollten die Verbündeten überzeugen, dem eigenen Vorbild zu folgen und die Exporte von ICs sowie von Maschinen für die Fertigung von Chips der neusten Generationen einzuschränken. Die Regierung der Niederlande hat dem nun zugestimmt.