Inspektionstechnologien im Vergleich

Messen vs. Prüfen

13. April 2021, 12:10 Uhr | Nicole Wörner
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Fortsetzung des Artikels von Teil 1

Was genau fordert eine Inline-Inspektion?

Damit die Ergebnisse aus der Röntgeninspektion den Qualitätsanforderungen entsprechen und für die Prozessverbesserung genutzt werden können, müssen sie mehrere Voraussetzungen erfüllen. Die Messwerte müssen wiederholgenau und reproduzierbar sein (Maschinenübertragbarkeit), sie müssen eine hinreichend gute Messauflösung besitzen und überprüfbar sein (Kalibrat). Die Eignung des Messsystems wird durch eine Messsystemanalyse (MSA) am zertifizierten Kalibrat nachgewiesen.

Viscom konnte bei der Messgenauigkeit und Geschwindigkeit...

...deutliche Fortschritte erzielen. Die eingesetzten Flat-Panel-Detektoren (FPD) liefern um den Faktor 3,2 stabilere Messwerte als die früheren analogen Bildverstärker. Außerdem war eine umfassende 3D-Röntgeninspektion bisher zu langsam für eine Inline-Prozesskontrolle. Die aktuellen Auswerterechner nutzen neben dem Hauptprozessor (CPU) auch den Grafikprozessor (GPU), um Rechenaufgaben zu parallelisieren und so erheblich zu beschleunigen. Die Fortschritte ermöglichen vollautomatische Inline-Röntgensysteme mit kürzeren Belichtungszeiten und schnelleren Auswertungen auch bei hochwertigen 3D-Inspektionen.

Eine größere Sensorauflösung ermöglicht zudem...

...feinere Abtastraten. So wird in der 3D-Inspektion eine sehr hohe Auflösung von bis zu 6 µm erreicht. Durch verbesserte Algorithmen können die Bilddaten im Pixel- und zusätzlich auch im Subpixelbereich analysiert werden. Dabei sorgen die Algorithmen dafür, dass mögliche Störsignale ausgeblendet und die Messsignale sauber ausgewertet werden können. Durch die verbesserte Algorithmik verringert sich auch der Aufwand für die Programmierung von Röntgeninspektionen nochmals deutlich. Die Grenz- und Toleranzwerte lassen sich dadurch deutlich einfacher einstellen.

Regelmäßige Grauwertabgleiche und Korrekturen...

...sichern überdies eine bessere Reproduzierbarkeit ab. Außerdem ist der FPD-Detektor über ein verschleißfreies X/Y-Achssystem beweglich, sodass dreidimensionale Auswertungen in verschiedenen Qualitäts- und Durchsatzstufen möglich sind.


  1. Messen vs. Prüfen
  2. Was genau fordert eine Inline-Inspektion?
  3. Wann braucht man 2D-AOI? Und wann doch besser 3D-AOI?

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