Für enge Raster ausgelegt
Neues Rhodium-Material für Prüfnadeln
Tanaka Precious Metal Technologies hat ein Rhodium(Rh)-Material für Prüfnadeln entwickelt, die in Probe Cards während der Front-End-Prozesse der Halbleitergehäuseherstellung verwendet werden. Es eignet sich für enge Raster und soll die Haltbarkeit von Probe Cards in der Halbleiterfertigung erhöhen.
Mit seinen proprietären Verarbeitungstechnologien ist Tanaka Precious Metal Technologies eigenen Angaben zufolge das erste Unternehmen weltweit, das ein Rhodium-Material für Prüfnadeln entwickelt hat, das gleichzeitig eine hohe Festigkeit, Elastizität, Härte und elektrische Leitfähigkeit bietet, wodurch sich die Lebensdauer von Probe Cards verlängern und deren Kosten senken lassen.
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Das neue Material mit der Bezeichnung TK-SR ist in Breiten von nur 18 μm erhältlich und ermöglicht so eine präzise Inspektion der immer kompakter werdenden Halbleitergehäuse mit engem Rastermaß.
Tanaka plant, bis 2030 doppelt so viele dieser Produkte wie herkömmliche Produkte auszuliefern.
Hintergrund
Probe Cards spielen eine entscheidende Rolle bei Stromtests an Siliziumwafern während der Front-End-Halbleiterprozesse, bei denen Tausende oder manchmal Zehntausende von Präzisions-Prüfnadeln zum Einsatz kommen.
Diese Nadeln sind außerordentlich leichten Belastungen ausgesetzt, die hunderttausend- oder sogar millionenfach auftreten. Wenn sich eine einzelne Prüfnadel verbiegt oder bricht, muss sie ersetzt werden, in manchen Fällen sogar die gesamte Probe Card. Deshalb ist die Haltbarkeit von entscheidender Bedeutung.
Das hochfeste TK-SR von Tanaka mit hoher Elastizitätsgrenze reduziert das Risiko von Verformungen und Brüchen erheblich, minimiert die Austauschhäufigkeit und verbessert die allgemeine Zuverlässigkeit.
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