RF-MEMS stellen so etwas wie den heiligen Gral oder den feuchten Traum der MEMS-Spezialisten dar, wie auch Jérémie Bouchaud, Director and Senior Principal Analyst MEMS & Sensors bei IHS, bestätigt.
Vor diesem Hintergrund haben sich in den letzten 15 Jahren nicht nur verschiedene Startups, sondern auch namhafte Player aus der Elektronikbranche an der Realisierung von RF-MEMS oder Varactors versucht. »ADI ist nicht der erste, der es geschafft hat, RF-MEMS-Schalter zu industrialisieren«, versichert auch Bochaud, »aber ADI ist offenbar der erste, der es geschafft hat, sein Produkt in eine kostengünstige Massenproduktion überzuführen« – woran nach Angaben des Marktforschers unter anderem Advantest gescheitert ist.
Zwar hatte Advatest bereits 2005 damit angefangen, RF-MEMS-Relais für seine ATE Equipment in Serie zu nutzen und 60.000 bis 70.000 RF-MEMS im Jahr zu produzieren, aber eben offenbar nicht besonders kostengünstig. ADI, so das Fazit, könnte somit für den wirklichen Marktdurchbruch von RF-MEMS im Elektronikbereich sorgen. WiSpry wiederum hat 2011 rund 700.000 RF-MEMS Tuner an Samsung für das Samsung Focus Flash verkauft. Dabei handelte es sich um das erste Handy mit RF-MEMS-Schaltern/Varactors. In den letzten zwei Jahren hat dann Cavendish Kinetics ein paar Millionen RF-MEMS-Tuner an chinesische OEMs wie ZTE verkauft. Wie Bouchaud ergänzt, hat WiSpry, jetzt Teil von AAC, vor kurzem wieder damit begonnen, einige Hunderttausend RF-MEMS an chinesische Smartphone OEMs zu verkaufen.
Während diese Aktivitäten im wesentlichen immer Projektgeschäfte waren, verfolgt Analog Devices mit seinen RF-MEMS ganz offensichtlich einen breiter gefächerten Ansatz. Wie Bouchaud erläutert, hat ADI bereits in den 1990er Jahren begonnen, sich mit RF-MEMS zu beschäftigen, diese Bemühungen aber Anfang der 2000er-Jahre eingestellt und die Lizenz an Radant MEMS verkauft. Etwa 2008/09 begann sich ADI dann wieder dem Thema zu widmen und hat 2009/10, so die Information von Test-Geräte-Herstellern, Muster von RF-MEMS an Test-Firmen verkauft. Als Lieferanten für den High-Performance-Test -Equipment-Markt sind damit nach Darstellung von Bouchaud nur noch X-Com und ADI übrig.
»Omron hat in den letzten zwei, drei Jahren aufgegeben«, so der Marktforscher, »DelfMEMS wurde Anfang 2016 insolvent, und Radant MEMS ist auch in den letzten 18 Monaten Pleite gegangen«. Dass mit Analog Devices nun einer der ältesten und etabliertesten MEMS-Spezialisten die Industrialisierung von RF-MEMS gelungen ist, hat nach Aussage von ADI-Manager Goggin auch massiv damit zu tun, dass Analog Devices bei der Realisierung dieser Bausteine auf umfangreiches Know-how zurückgreifen konnte, etwa aus der Industrialisierung von MEMS-Mikrophonen oder der vor rund 10 Jahren auf den Markt gebrachten iCoupler-Technologie.