ASML steigert Umsatz EUV ist in der IC-Fertigung angekommen

Das Funktionsprinzip einer EUV-Lithografie-Maschinen von ASML. Jetzt soll nun endlich den Durchsatz erreicht werden, der eine wirtschaftlich sinnvolle Massenfertigung von ICs mit Hilfe der neuen Technik ermöglicht.
Das Funktionsprinzip einer EUV-Lithografie-Maschinen von ASML.

Dieses Jahr will ASML 20 EUV-Systeme ausliefern, für 2019 sind 30 Systeme geplant. Der Umsatz klettert auch wegen dem starken Bedarf an DUV-Systemen.

Das schlägt sich bereits im Umsatz von ASML nieder: Der Umsatz fiel höher im zweiten Quartal des Geschäftsjahres 2018 mit 2,47 Mrd. Euro als erwartet aus, auch wegen der starken Nachfrage nach EUV-Systemen. Technisch verbessern sie sich kontinuierlich: »Wir konnten nachweisen, dass die Maschinen NXE:3400B über vier Wochen weit über 85 Prozent der Zeit arbeiteten, bis 2019 wollen wir auf eine Auslastung über 90 Prozent kommen«, sagt CEO Peter Wennink.

Das zeigt, dass die neue Lithografietechnik »Extreme Ultraviolett« (EUV) nun endgültig in der Industrie angekommen ist. Diese Technik wird die Deep-Ultraviloett-Systeme (DUV, sie nutzen Licht der Wellenlänge 193 nm) für die Belichtung der kritischen Strukturgrößen ab der 7-nm-Ebene ablösen.

An dem Erfolg von ASML profitieren auch zwei deutsche Hersteller: Zeiss liefert das Spiegelsystem für die neusten EUV-Geräte genauso wie die Optiken für die herkömmlichen Lithografiegeräte, Trumpf steuert die Laser für die EUV-Systeme bei. Das habe mit dazu beigetragen, dass Trumpf den Umsatz im Geschäftsjahr 2017/18 um 15 Prozent auf auf 3,6 Mrd. Euro steigern konnte.

 

 

 

 

 

 


Allein im zweiten Quartal 2018 hat ASML vier EUV-Systeme an Kunden geliefert, eines mehr als geplant. Die Hersteller von Logik-ICs würden sich nach den Worten von Wennink nun dafür rüsten, die Produktion mit Hilfe der neuen Maschinen noch in diesem Jahr hochfahren zu können: »In diesem Jahr können wir 20 EUV-Systeme liefern, für 2019 rechnen wir mit mindestens 30.«

Gleichzeitig bliebe die Nachfrage für DUV-Systeme weiterhin stark, vor allem wegen des boomenden Speichermarkts bauen die Hersteller die Kapazitäten aus, »mindestens noch in diesem Jahr und ins kommende Jahr hinein.« ASML hat jetzt die Lieferung des neuen DUV-Systems TWINSCAN NXT:2000i aufgenommen, die für den Mixed-and-Match-Einsatz zusammen mit den EUV-Geräten auf den 7- und 5-nm-Ebenen für die Fertigung von Logik-ICs vorgesehen ist.

Nach einer exzellenten ersten Jahreshälfte rechnet Wennike für das dritte und vierte Quartal mit weiterem Wachstum. Im dritten Quartal erwartet ASML einen Umsatz zwischen 2,7 und 2,8 Mrd. Dollar.