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11,8 Mrd. Dollar Umsatz 2019

Rekord-Ergebnis für ASML

22. Januar 2020, 08:00 Uhr   |  Heinz Arnold

Rekord-Ergebnis für ASML
© ASML

Blick von oben in eine EUV-Lithografiemaschine von ASML. Die Spiegeloptik befindet sich im Vakuum.

Den Umsatz konnte ASML von 10,9 auf 11,8 Mrd. Euro steigern, der Nettogewinn betrug 2,6 Mrd. Euro. Nicht zuletzt dank der EUV-Maschinen, die jetzt in die Fabs Einzug halten.

Für das erste Quartal 2020 erwartet ASML einen Umsatz zwischen 3,1 und 3,3 Mrd. Euro. Zum Vergleich: Im vierten Quartal 2019 hatte er bei 4,0 und im dritten Quartal 2019 bei 3 Mrd. Euro gelegen.

Allein im vierten Quartal hat ASML acht Lithografiesysteme der neusten Generation, die sogenannten EUV-Systeme, ausgeliefert. Aufträge für neun weitere EUV-Systeme sind eingegangen. »2019 haben wir von einem starken Bedarf aus dem Logik-IC-Sektor sowohl für unsere DUV- als auch für die EUV-Maschinen profitiert. Allein für die EUV-Maschinen gingen Aufträge im Wert von 6,2 Mrd. Dollar ein. Sie sind jetzt in der Stückzahlfertigung angekommen« sagt Peter Wennink, CEO von ASML.

Für 2020 rechnet er mit einem weiteren Wachstumsjahr: »Die Nachfrage aus der Fertigung von Logik-ICs hält wegen dem Bedarf aus den 5G- und High-Performance-Computing-Märkten an. Im Speichermarkt sehen wir erste Anzeichen für eine Erholung.«

Der Hauptversammlung wird ASML die Zahlung einer Dividende von 2,40 Euro pro Aktie vorschlagen. Das ist gegenüber 2018 eine Steigerung um 14 Prozent.

EUV- und DUV-Lithografie

EUV ist die Abkürzung für Extreme Ultraviolett. Diese Belichtungsmaschinen arbeiten mit einer Wellenlänge von 13,5 nm. Das ist viel kürzer als bei der Vorgängergeneration. Die traditionellen DUV-Maschinen (Deep Ultraviolett) arbeiten bei einer Wellenlänge von 193 nm. Um mit 193-nm-Licht überhaupt Strukturen bis hinunter zu 7 nm im Silizium realisieren zu können, waren zahlreiche teure Tricks erforderlich, die nun wegfallen können. Für Strukturen unter 7 nm wird voraussichtlich nur noch EUV in Frage kommen.

Allerdings gibt es für »Licht« der Wellenlänge von 13,5 nm keine transparenten Materialien, so dass keine Linsen mehr wie bei der bisherigen Lithografie eingesetzt werden können. Deshalb musste eine ganz neue Spiegeloptik entwickelt werden. Weil sich zudem die gesamte Spiegeloptik im Vakuum befinden muss und es darüber hinaus weitere große Schwierigkeiten zu überwinden gab, sind die neuen Maschinen ausgesprochen teuer und sollen mit 140 Mio. Dollar pro Stück zu Buche schlagen. Die Spiegeloptik entwickelt und fertigt – wie übrigens alle übrigen Optiken für ASML – Carl Zeiss SMT in Oberkochen. Die Laserquelle kommt von Trumpf.

ASML weiter auf Wachstumskurs

Die teuren EUV-Maschinen dürften auch der Grund dafür sein, dass ASML im vergangenen Jahr Applied Materials vom Platz 1 unter den weltweiten Herstellern von Equipment für die Fertigung von ICs verdrängt hat, den das Unternehmen über 20 Jahre besetzt hatte. Laut »The Information Network« kam Applied Materials 2019 auf einen Anteil von 19,4 Prozent am Gesamtmarkt. 2015 waren es noch 23 Prozent gewesen. Dagegen konnte ASML den eigenen Anteil von 18 Prozent im Jahr 2018 auf 21,6 Prozent in 2019 steigern und Applied Materials damit überholen. Für 2020 sagen die Analysten ASML ein weiteres Wachstum auf 22,8 Prozent voraus während Applied bei 19,3 Prozent verharren werde.

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