Soitec und A*STAR

Prozess für neue SiC-MOSFET-Generationen

24. Januar 2022, 16:20 Uhr | Heinz Arnold
Soitec
© Soitec

Das Institute of Micorelectronics von A*STAR in Singapur und Soitec entwickeln gemeinsam SiC-Halbleiter der nächsten Generation.

Der Vorrteul dieser neuen SiC-Komponenten: Sie werden sich gegenüber herkömmlichen Verfahren mit größeren Ausbeuten herstellen lassen und sie arbeiten noch energieeffizienter. Davon sind jedenfalls das Institute of Microelectronics (IME) an der Agency for Science, Technology and Research (A*STAR) in Singapur sowie Soitec überzeugt. 

Im Rahmen der Kooperation wird Soitec die im eigenen Hause entwickelten Techniken wie Smart Cut einbringen. Gefertigt werden die Bauelemente auf der 200-mm-Pilotanlage von IME. 

Im Rahmen der Kooperation, die bis 2024 läuft, soll ein ganzheitliches SiC-Ecosystem aufgebaut und der Produktion in Singapur und in der Region weiterer Schub verliehen werden. 

Dies sind die Ziele der Zusammenarbeit: Die Entwicklung eines Herstellungsprozesses für SiC-Epitaxie-MOSFETs auf Basis von Smart-Cut-Substraten. Dies soll gegenüber bisherigen Verfahren zu weniger Defekten führen und die Ausbeute während des Fertigungsprozesses erhöhen. Dazu soll auch ein Benchmark erstellt werden, der den neuen Prozess mit den üblichen Bulk-Substraten vergleichen kann – und seine Vorteile aufzeigen soll.

»Weil beide Institutionen – das Institute of Microelectronics des A*STAR und Soitec – über tiefgehende R&D-Möglichkeiten verfügen, sind sie in der Lage, die Halbleiterkomponenten der nächsten Generationen auf Basis neuer Technologien zu entwickeln«, sagt Terence Gan, Executive Director des IME. »Wir freuen uns, zu der wachsenden Gruppe von SiC-Herstellern zu gehören.«

»Die Zusammenarbeit ebnet den Weg für die Entwicklung fortschrittlicher Epitaxieprozesse, um SiC-Wafer mit höherer Qualität herzustellen. Wir bekommen damit den Zugang zur 200-mm-Pilotlinie, um zu zeigen, dass der SmartSiC-Prozess sklalierbar ist«, sagt Christophe Maleville, Chief Technology Officer and Senior Executive VP at Soitec.
 


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