Seit 1995 hat das IMMS 254 ASICs entwickelt, in 67 Tape-outs in die Fertigung übergeben und messtechnisch charakterisiert. Für seine Präzisionsantriebe ist das IMMS zusammen mit der TU Ilmenau von der Mikrometer- zur Sub-Nanometergenauigkeit vorgedrungen. Das IMMS hat 1142 Funksensorknoten für verschiedene Anwendungen aufgebaut, in 847 Projekten mit 625 Partnern zusammengearbeitet, Ergebnisse u.a. in 1020 Publikationen vorgestellt und 436 Studentinnen und Studenten betreut. 196 Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter haben seit der Gründung Wissenschaft und Wirtschaft verbunden, um Ergebnisse aus der Grundlagenforschung in Anwendungen zu transferieren.
Das IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme stärkt kleine und mittelständische Unternehmen in Thüringen mit anwendungsorientierter Forschung und Entwicklung in der Mikroelektronik, Mechatronik und Systemtechnik – von der Machbarkeitsstudie bis zur Serienreife.