Jetzt auch Materialen für Chips

Chinesen dehnen IC-Autarkiebestrebungen aus

23. Mai 2024, 8:30 Uhr | Heinz Arnold
Blick in das Labor von Merck Intermolecular im Silicon Valley, wo Materialkombinationen für die Halbleiterfertigung auf eigens entwickelten Processing-Tools entwickelt, getestet und auf ihre Funktion überprüft werden.
© Merck Intermolecular

Chinas IC-Hersteller wollen nun nicht nur die Maschinen für die Halbleiterfertigung, sondern auch die Materialien möglichst aus dem eigenen Land beziehen, um den amerikanischen Sanktionen zu begegnen.

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Die führende chinesische Chip-Hersteller wie die Foundry SMIC und die auf DRAMs spezialisierte ChangXin Memory Technologies (CXMT) ersetzen zunehmend ausländische Zulieferer von Wafern, Chemikalien, Gasen und anderen für die IC-Produktion erforderlichen Materialien durch einheimische Unternehmen, um ihre Lieferketten abzusichern, wie Nikkei Asia berichtet. In diesem Sektor sind japanische Unternehmen besonders stark. 

Im Grunde wechseln die Chip-Hersteller ihre Lieferanten von Materialien ungern, weil die Materialien aus verschiedenen Quellen meist eine etwas unterschiedliche Zusammensetzung aufweisen und die eigenen Prozesse auf die Materialien der bisherigen Zulieferer abgestimmt sind. Ein Wechsel kann sich auf die Ausbeute in der Produktion negativ auswirken. Doch bestehen Befürchtungen, dass die USA Druck auf ihre Verbündeten ausüben, nicht nur die Lieferung von Ausrüstungen für die Halbleiterfertigung (Equipment) zu beschränken, sondern auch die von Materialien. 

Betreffen könnte das Wafer-Hersteller wie Shin Etsu, Sumco, GlobalWafers und Siltronics. Einer der größten chinesischen Hersteller von Wafern ist National Silicon Industry Group, die davon profitiert. Es betrifft aber auch viele andere Hersteller, darnter ach aus Deutschland wie etwa BASF, Linde und Merck

Wichtige Materialien in der Halbleiterfertigung sind unter anderem Sputter-Targets, Polishing-Pads, Slurries (Läppsuspensionen bzw. Poliermittel, wie sie beispielsweise in CMP-Prozessen benötigt werden) sowie hochreine Chemikalien und Gase. 

Zunächst würden die chinesischen Quellen die Materialien vor allem für reifere Prozesse im Bereich von 55 bis 40 nm zur Verfügung stellen können. Das passt aber gut zu den Wünschen der chinesischen Autohersteller, von denen die chinesische Regierung verlangt, mehr und mehr von ausländische auf lokale Zulieferer zu wechseln. 

Nikkei Asia zitiert Clark Tsen, Senior Director of Marketing Intelligence der SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) mit den Worten, dass die chinesischen Zulieferer schon lange Erfahrung im Bereich der ausgereiften Proesstechnologien gesammelt hätten und einige von ihnen nun auch in der Lage seien, zumindest den asiatischen Markt zu bedienen. Der Druck auf nichtchinesische Anbieter in der Region werde also wachsen. Ihnen bliebe nur übrig, die Zusammenarbeit mit lokalen Unternehmen zu intensiveren und sich auf dem chinesischen Markt auf die High-End-Produkte zu fokussieren.
 


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