Fraunhofer IAF

Laborgebäude und MOCVD-Halle eingeweiht

1. Juli 2022, 7:28 Uhr | Iris Stroh
Gebäudeerweiterung
Das Fraunhofer IAF hat seine hochmoderne Forschungsinfrastruktur für Halbleiter-Technologien um eine neue MOCVD-Halle (vorne) und ein neues Laborgebäude (hinten) erweitert.
© Fraunhofer IAF

Fraunhofer IAF hat mit Hilfe des Bundes, des Landes Baden-Württemberg sowie des BMVg ein Laborgebäude und eine MOCVD-Halle gebaut, durch die das Institut seine Aktivitäten in den Bereichen der Optoelektronik, Quantentechnologien und Materialwissenschaften intensivieren kann.

Im neuen Laborgebäude des Fraunhofer IAF stehen insgesamt 22 Labore auf 900 m² Nutzfläche zur Verfügung, die baudynamisch für den Einsatz höchst schwingungsempfindlicher Geräte konzipiert wurden. Sie halten die Schwingungsgrenzwertlinien B und C der sogenannten Vibration Criteria (VC) ein und eignen sich so beispielsweise für den Betrieb von Mikroskopen bis zu 1000-facher Vergrößerung oder Lithographie- wie Inspektionsgeräten mit Strukturbreiten bis 3 beziehungsweise 1 µm. Dies gewährleistet langfristig die Nutzung anspruchsvoller Messtechnik für immer kleiner werdende Strukturen und erlaubt die intensive Erforschung und Entwicklung von Quantensensoren wie Rastersonden-, Weitfeld- und Laserschwellen-Magnetometern sowie laserbasierter Sensorik und innovativer Halbleiter-Laser.

Die neuerrichtete MOCVD-Halle bietet Platz für fünf hochmoderne Anlagen, mit denen das Fraunhofer IAF insbesondere seine epitaktischen Aktivitäten im Bereich der Halbleiter mit hoher Bandlücke ausbauen kann. Zu den vier Bestandsanlagen, die aus dem Reinraum des Hauptgebäudes umgezogen wurden, kam eine neue Anlage speziell für die Abscheidung von Aluminiumgalliumnitrid (AlGaN) mit hohem Aluminiumgehalt. Die neue Anlage erreicht Temperaturen bis zu 1400 °C, was sich positiv auf Kristallqualität und Homogenität auswirkt. Vorteile ergeben sich zudem aus der Ausstattung der Halle, die über autonome regenerative Aufbereitungssysteme verfügt, wodurch energieeffizientere und nachhaltigere Fertigungsprozesse ermöglicht werden.

Mit 388 kWh/(m2a) für das Laborgebäude und 245 kWh/(m2a) für die MOCVD-Halle liegen die Primärenergiebedarfe beider Neubauten unter den EnEV-Anforderungswerten für vergleichbare Gebäude. Besonders umweltfreundlich sind zudem die in beiden Gebäuden verlegten Fußböden, die nach Ablauf der Nutzungsdauer recycelt werden. Es handelt sich um Beläge aus natürlichen Rohstoffen und deutscher Herstellung, deren gesamter Produktionszyklus eine neutrale CO2-Bilanz aufweist. Allein in der MOCVD-Halle konnten durch die Fußböden 47 t CO2 kompensiert werden.


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