Das 100. EUV-System

ASML mit neuem Umsatzrekord

20. Januar 2021, 10:43 Uhr | Heinz Arnold
Ein Lithografiesystem von ASML wird am Flughafen Schiphol in einem Jumbojet (Boing 747) verstaut, um an einen Kunden geliefert zu werden.
Ein Lithografiesystem von ASML wird am Flughafen Schiphol in einem Jumbojet (Boing 747) verstaut, um an einen Kunden geliefert zu werden.
© ASML

ASML hat im vierten Quartal 2020 die 100. EUV-Maschine ausgeliefert und kam 2020 auf einen Rekordumsatz von 14 Mrd. Euro, nach 11,8 Mrd. Euro 2019.

Insgesamt konnte ASML über das vergangene Jahr 236 (Vorjahr: 203) neue Lithografiesysteme verkaufen, davon 31-EUV-Systeme, die allein einen Umsatz von 4,5 Mrd. Euro eingebracht haben. Die Bruttomarge lag bei 48,6 (Vorjahr: 44,7) Prozent.

Im vierten Quartal hat ASML die Auslieferung des hundertsten EUV-Systems gefeiert. Insgesamt wurden bis heute 26 Millionen Wafer auf solchen Maschinen weltweit belichtet, 9 Millionen allein im vierten Quartal 2020.

»2021 wird voraussichtlich wieder ein Wachstumsjahr werden, getrieben von einem starken Bedarf an Logik-ICs und der Erholung im Sektor der Speicher-ICs. Die starke Nachfrage nach ICs aus den Consumer-, Automotive- und Industriemärten sorgt für Wachstum quer durch unser Produktspektrum«, sagt Peter Wennink, President und CEO von ASML.

Besonders stark war der Auftragseingang für DUV-Maschinen im vergangenen Jahr: Es erreichte 2020 rund 7,3 Mrd. Euro.

2020 war es ASML gelungen, die Produktivität deutlich zu erhöhen. Während für die ersten DUV-Systeme vom Typ »NXT:2050i« 120 Tage erforderlich waren, um sie zusammen zu bauen, sank die Zahl auf jetzt 60 Tage pro Maschine.  

2020 hatte ASML das Multiinspection-System  (MBI) »eScan 1000« vorgestellt, das mit neun Elektronenstrahlen gleichzeitig arbeitet, um ICs auf Wafern zu inspizieren, die mit Hilfe von 5-nm-Prozessen und darunter gefertigt werden. Gegenüber Maschinen, die mit nur einem Elektronenstrahl arbeiten, steigert die »eScan 1000« den Durchsatz um 600 Prozent. Drei dieser Maschinen hat ASML im vergangenen Jahr ausgeliefert.

Im vierten Quartal ist ASML auf einen Umsatz von 4,3 Mrd. Euro gekommen, was vor allem dem starken Verkauf von DUV-Systemen (Deep Ultraviolett) und der Aufrüstung von Systemen im Feld zuzuschreiben war. Daneben hat ASML neun EUV-Geräte ausgeliefert. Im vierten Quartal gingen Aufträge im Wert von 4,2 Mrd. Euro ein, wozu die EUV-Systeme 1,1 Mrd. Euro beitrugen, was sechs EUV-Maschinen entspricht.

Für das erste Quartal 2021 rechnet ASML mit einem Umsatz zwischen 3,9 und 4,1 Mrd. Euro und einer Bruttomarge um 50 Prozent.


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