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ASMPT

Feindrahtbonden von hochdichten Substraten

14. Juli 2025, 8:06 Uhr | Heinz Arnold

Mit der AERO PRO konnte ASMPT die Produktionsleistung pro Flächeneinheit um 38 Prozent gegenüber dem Vorgängermodell steigern.

Den Hochleistungsdrahtbonder AERO PRO hat ASMPT für das Feindrahtbonden (Durchmesser 0,5 mil) von hochdichten Substraten bis zu 105 mm × 300 mm bei hohen Bondgenauigkeiten und hohen Prozessgeschwindigkeit entwickelt.

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Dank integrierter Echtzeitüberwachung und prädiktiver Wartungsfunktionen ist das System für den Einsatz in intelligenten, vernetzten Fertigungsumgebungen geeignet.

Chips in Mobilgeräten, der Automobilindustrie, der Medizintechnik, der 5G/6G-Kommunikation und der Industrieelektronik erfordern zunehmend kompaktere, leistungsstärkere Systeme – und damit hochpräzise Drahtverbindungen auf minimalem Raum. Um insbesondere komplexe Bauformen wie System-in-Package (SiP) und Multi-Chip-Module (MCM) sowie Gehäuse wie Ball Grid Array (BGA), Land Grid Array (LGA), Memory-Module oder Quad Flat Packages (QFP) mit außenliegenden Anschlussbeinen (leaded QFP) zu unterstützen, verfügt der AERO PRO über die Fähigkeit zum Mischdrahtbonden. Das Gerät verarbeitet Drahtdurchmesser von 0,5 bis 2,0 mil (≈ 12,7–50,8 µm) und Drahtlängen von 0,2 bis 8,0 mm.

Optimierte Komponenten für präzise Bondprozesse

Für gleichmäßige Bondkugeln mit einem Durchmesser von 22 µm setzt der AERO PRO den innovativen, patentierten X-POWER 2.0-Transducer (»AEROducer«) ein, einen neu entwickelten leichtgewichtigen und vibrationsoptimierten Ultraschall-Wandler aus Verbundstoffen, der Energie präzise in X- und Y-Richtung überträgt. Die neu gestaltete Mechanik des XY-Tisches zielt auf maximale Stabilität und Langlebigkeit ab. Sie verfügt über softwaregestützte Kalibrierungen, einschließlich einer präzise gesteuerten, reibungsfreien Drahtklemme, und wurde für höhere Bondzyklen (Units per hour/UPH) bei gleicher Qualität optimiert.

Intelligente Automatisierung

Der AERO PRO nutzt KI-gestützte Einrichtung und Prozessüberwachung. Dazu zählen das Echtzeit-Monitoringsystem AERO EYE, AERO Diagnostic zur Analyse sowie AERO Predictive Maintenance zur Leistungsprognose. Die kontinuierliche Überwachung von Qualität und Wartungsbedarf steigert sowohl Ausbeute als auch Betriebseffizienz. Der AERO PRO ist vollständig automatisierungsfähig und lässt sich nahtlos in fahrerlose Transportfahrzeuge (AGV), schienengeführte Systeme (RGV), Deckenfördersysteme (OHT) sowie in das Manufacturing Execution System (MES) integrieren.

Mehr Leistung auf weniger Fläche

Dank gezielter Optimierungen konnte die Produktionsleistung pro Flächeneinheit (UPH/Floor Space) um 38 Prozent gegenüber dem Vorgängermodell gesteigert werden. Gleichzeitig wurde der Druckluftverbrauch (CDA, Clean Dry Air) um 40 Liter pro Minute gesenkt – ein bedeutender Beitrag zur Reduzierung der Betriebskosten und zur Nachhaltigkeit in der Fertigung.