Die Mahr GmbH aus Göttingen präsentiert mit dem System »MarOpto FI 3100 VB« ein Fizeau-Interferometer, das mittels simultanem Phase-Shifting drei Interferogramme gleichzeitig aufnehmen und zu einer 3D-Topographie verrechnen kann.
Das Messsystem ist robust gegenüber Vibrationen, arbeitet mit einer Belichtungszeit von lediglich 10 μs und einer systematischen Messunsicherheit von kleiner 15 nm.
Konzipiert ist es für den Einsatz im fertigungsnahen Umfeld und findet vor allem in der Automobilindustrie und im Maschinenbau bei der Prüfung von planen und sphärischen Werkstücken Anwendungsfelder.