Atomlage für Atomlage abscheiden
1 Mio. Dollar für Entwicklung der ALD
Fortsetzung des Artikels von Teil 1
FinFETs – ohne ALD nicht denkbar
Die Fertigung der neusten FinFET-Transistortypen wäre ohne ALD nicht möglich, erstens weil die Abmessungen sehr klein sind und zweitens die erforderlichen Öffnungsverhältnisse sehr hoch. Damit hat die ALD insgesamt dazu beigetragen, Prozesse in die Produktion zu bringen, die die Produktion von ICs mit Strukturgrößen im nm-Bereich ermöglicht.
ALD-Verfahren lassen sich aber auch für den Einsatz in der Fertigung außerhalb der reinen Halbleitertechnik nutzen, etwa in der Fertigung von Solarzellen, um CIGS-Schichten aufzubauen, oder für die Produktion von Solid Oxide Fuel Cells.
Auch für künftige Entwicklungen rund um Graphene, Carbon-Nano-Tubes und Si-Nanowires eröffnet die ALD interessante Möglichkeiten.
Mit dem Millenium-Technologiepreis werden Entwickler von innovativen Technologien ausgezeichnet, die die Lebensqualität verbessern und eine nachhaltige Entwicklung fördern. Zu den früheren Preisträgern gehören der Entwickler des freien Betriebssystems Linux, Linus Torvalds, Stammzellpionier Shinya Yamanaka und der Entwickler der blauen LEDs, Shuji Nakamura.
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