Startseite > E-Mechanik+Passive > Passive > Stabil, präzis, kompakt und hochintegriert

Susumu: Dünnschicht-Widerstands-Netzwerk

Stabil, präzis, kompakt und hochintegriert

13. Februar 2017, 14:30 Uhr | Von Tobias Jung, Produktmanager bei Endrich Bauelemente

▶ Diesen Artikel anhören

Fortsetzung des Artikels von Teil 1

Mit Fotolithografie zum Widerstandsnetz

Ein kostengünstiger Ansatz nach dem Aufbringen der Dünnschicht auf das Substrat, im Fall Susumu handelt es sich dabei um Al2O3, ist es, die Schicht mittels Trimmschnitten auf den gewünschten Ohmwert einzutrimmen. Susumu bedient sich aus Zuverlässigkeitsgründen jedoch einer anderen Methode: Mittels einer Fotomaske, auf der zuvor optimierte Leiterbahnen abgedunkelt wurden, wird durch Fotolithografie nicht benötigtes Material oxidiert und damit zum Isolator gemacht. Übrig bleibt die gewünschte Leiterbahn. Diese wird sofort mit der bereits erwähnten Si2O3 Schutzschicht überzogen. Das darauf folgende Trimmen findet minimalst und nur zur Feinabstimmung statt. Mit dieser Methode ist Susumu in der Lage, ganze Widerstands-Netzwerke zu konzipieren.

Zu den Vorteilen dieser Methode zählen:

1. Neben Standardwerten sind auch kundenspezifische Werte bzw. Kombinationen realisierbar.

2. Neben Toleranz und TK der einzelnen Elemente ist auch deren Verhältnis (Ratio) definierbar.

3. Möglich sind Toleranzen bis ±0.05% (absolut) sowie ±0.01% (Ratio).

4. Möglich sind Temperaturkoeffizienten bis zu ±5ppm (absolut) sowie ±0.5ppm (Ratio).

5. ΔR/R nach Alterungstests 85°C/85%r.H., THB, typ ± 0.05% (±0.02% Ratio).

6. Elemente können intern verschaltet oder isoliert werden.

7. Möglich sind Wertebereiche von 100 Ω - 500k Ω, (1:1 bis 1:500 Ratio).

Ideal für kundenspezifische Anwendungen

In unterschiedlichen Bauformen und internen Schaltungen verfügbar, eignen sich die Produkte der RM-Serie vor allem zum Einsatz als Spannungsteiler in Anwendungen, die eine hohe Präzision und Stabilität erfordern, also etwa in der analogen Messtechnik oder im Automotive-Bereich. Ebenso geeignet sind diese für Anwendungen, die einen möglichst linearen Temperaturkoeffizienten über einen großen Temperaturbereich benötigen wie beispielsweise Automotive-Anwendungen oder Messtechnik, die im Außenbereich eingesetzt wird. Aufgrund der frei wählbaren Ohmwerte, Bauformen, Schaltungen und aufgrund der hohen Genauigkeit bieten sich die Bauteile auch für kundenspezifische Lösungen an. Diese sind bereits ab Stückzahlen von 100 realisierbar.

Für extreme Anforderungen an Lötstellenfestigkeit sowie hohe Umgebungstemperaturbereiche, etwa für die Untertageförderindustrie wird Susumu diese Netzwerke wie auch Einzelchip-Widerstände zukünftig auch mit Goldkontaktierungen anbieten.