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Fraunhofer und Applied Materials

Technologiezentrum für Halbleiter-Messtechnik

17. Juli 2023, 10:38 Uhr | Heinz Arnold

eBeam-Metrologiegeräte von Applied Materials im Reinraum des Fraunhofer IPMS.

Applied Materials und das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS gründen eines der größten Technologiezentren für Halbleitermetrologie und Prozessanalyse in Europa.

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Das Technologiezentrum wird am Center Nanoelectronic Technologies (CNT) des Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS in Dresden im Herzen von Silicon Saxony, dem größten Halbleitercluster Europas, angesiedelt sein. Dort kommen die neusten eBeam-Metrologiegeräten von Applied Materials zum Einsatz, darunter das «VeritySEM«-CD-SEM-Systems (ein Rasterelektronenmikroskop für kritische Dimensionen). Dort werden, Ingenieure und F&E-Experten von Applied Materials arbeiten.

Das neue Zentrum wird Entwicklungsprojekte mit Chipherstellern und Partnern in ganz Europa zu unterstützen, insbesondere in den Bereichen IoT, Kommunikation, Automotive, Leistungshalbleiter und Sensoren.

»Das Fraunhofer IPMS und seine Partner werden vom Zugang zu den branchenführenden eBeam-Metrologiesystemen von Applied profitieren«, so Dr. Benjamin Uhlig-Lilienthal, Leiter des Geschäftsfelds Next Generation Computing am Fraunhofer IPMS.

»Unser gemeinsamer Metrologie-Hub wird die Lernzyklen und die Entwicklung neuer Anwendungen für das Fraunhofer Institut, Applied Materials und unsere Kunden und Partner in Europa beschleunigen«, erklärt James Robson, Corporate Vice President für Applied Materials Europe. »Dieses einzigartige Kompetenzzentrum wird in der Lage sein, Prozesse auf einer Vielzahl von Substratmaterialien und Waferdicken zu testen und zu qualifizieren, die für Anwendungen in der vielfältigen europäischen Halbleiterlandschaft entscheidend sind.«

Die Messtechnik ist bei der Herstellung von Mikrochips von entscheidender Bedeutung, weil sie präzise Messungen ermöglicht, die erforderlich sind, um die Qualität der einzelnen Schritte und Abläufe bei der Halbleiterherstellung exakt zu überwachen und zu kontrollieren. Die Chiphersteller setzen Messgeräte an kritischen Stellen ein, um die physikalischen und elektrischen Eigenschaften zu validieren und die angestrebte Ausbeute zu gewährleisten.