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Sensortechnik

Hochgenaue MEMS-Drucksensoren

12. Oktober 2012, 9:16 Uhr | Iris Stroh

Melexis stellt mit den MLX90809 die ersten einer ganzen Reihe von komplett monolithischen MEMS-Drucksensoren vor. Das Unternehmen adressiert damit anspruchsvolle Anwendungen in der Automobilelektronik.

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Die Bausteine bieten eine hohe Genauigkeit, sind nach AEC Q100 qualifiziert und messen den relativen Druck speziell für 1-Bar-Anwendungen. Melexis hat für diese Bausteine seine eigene piezoresistive MEMS-Technik mit einem genauen Sensorelement, einem störungsarmen Analog-Frontend und einem 16-Bit Sigma-Delta A/D-Wandler kombiniert. Der daraus resultierende Analogschaltkreis stellt die erforderliche Verstärkung und Offset-Kompensation für das Sensorelement bereit. Der integrierte 16-Bit-Mikrocontroller (MCU) sorgt für eine Temperaturkompensation und steuert Diagnosefunktionen bei, wie sie für sicherheitskritische Anwendungen erforderlich sind.

Ein integriertes, programmierbares EEPROM ermöglicht verschiedene Konfigurationen, wie z.B. das unabhängige Einstellen von Diagnosefunktionen für die Überspannungs-, Unterspannungs-, Überdruck- oder Unterdruckbedingungen, sowie wählbare digitale Filter, die das Ausgangsrauschen weiter verringern oder alternativ die Sensor-Reaktionszeit verkürzen. Außerdem lassen sich Sensorkompensationsdaten und Seriennummern im EEPROM abspeichern.

Der MLX90809-Drucksensor wird in einem robusten 16-Pin-SMD-Kunststoffgehäuse ausgeliefert und stellt seine Daten über einen analogen Spannungsausgang bereit, der ratiometrisch zur Versorgungsspannung ist oder das SENT-Digitalprotokoll nutzt. Der Betriebstemperaturbereich erstreckt sich von -40 bis +150 °C.