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MKS Instruments

Pulsenergiesensor für Hochpulslaser

16. April 2020, 12:00 Uhr   |  Nicole Wörner

Pulsenergiesensor für Hochpulslaser
© Ophir Spiricon Europe GmbH

Ophir PE50U-DIFH-C – Neuer Hochpulsenergiesensor mit hoher Zerstörschwelle und großem Wellenlängenbereich.

Der Ophir PE50U-DIFH-C Pulse Energy Sensor von MKS Instruments wurde speziell für hochenergetische Pulslaser entwickelt. Das Diffusormaterial des Sensors nimmt – im Gegensatz zu herkömmlich verwendeten keramischen Substraten – keine Feuchtigkeit aus der Umgebungsluft auf.

Durch die Kombination spezieller Materialien im Diffusor des Sensors lässt sich UV-Strahlung bis hinunter auf 193 nm bei Pulsraten von 10 kHz und Energiedichten von bis zu 1 J/cm2 bei 193 nm und 2 J/cm2 über 240 nm messen.

Probemessungen zur Trocknung des Sensors sind nicht länger erforderlich, schon der erste Puls liefert ein zuverlässiges Messergebnis.

Der Ophir-PE50U-DIFH-C-Energiesensor von MKS Instruments arbeitet bei einer großen Bandbreite an Wellenlängen, Leistungsstufen und Wiederholraten. Die Kalibrierung bei 193 nm, 248 nm, 355 nm, 532 nm, 1064 nm, 2100 nm und 2940 nm stellt die höchste Genauigkeit der Messungen sicher. Die 35 mm große Apertur ermöglicht die Messung von Laserenergie zwischen 10 µJ bis 10 J.

Durch die neuartige Beschichtung zeigt der Sensor insbesondere bei veränderlichen Umgebungsbedingungen seine Stärken und bietet mit 90 J/cm2 für Pulse im Millisekundenbereich die höchste Zerstörschwelle in Hinblick auf die Laserenergiedichte.

Über eine “Smart Connector”-Schnittstelle lässt sich der Sensor sowohl mit allen Ophir-Anzeigegeräten verbinden als auch über die PC-Schnittstellen mit einem Rechner direkt.

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