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IMEC vzw

CNT-Pellicle-Technologie für EUV

Strategische Partnerschaft zwischen Imec und Mitsui Chemicals

Das imec und Mitsui Chemicals, ein japanisches Chemieunternehmen und Anbieter von EUV-Pellikeln, arbeiten zusammen, um die Kommerzialisierung von CNT-basierenden Pellikeln (CNT: Carbon Nanotubes) für die EUV-Lithographie zu ermöglichen.

Kommentar

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