Siliziumphotonik
300-mm-fähiger Prozess zur Integration von Bariumtitanat
Veeco und imec haben einen 300-mm-fähigen Prozess zur Integration von Bariumtitanat in die Siliziumphotonik entwickelt. Basis ist ein neues MBE-Clustersystem für einkristalline BTO-Dünnschichten. Ziel ist eine skalierbare, kostengünstige Fertigung…