CFET-Integration – Teil 1
CFETs: Fortschritte bei Integration und DTCO
CFETs sollen die CMOS-Skalierung bis weit in die Ångström-Ära fortführen. Auf dem Weg zur industriellen Fertigung sind jedoch noch einige Hürden zu überwinden. Dieser erste Teil zeigt Fortschritte bei Rückseitenkontakten und der gezielten Einstellung der Schwellenspannung.