Georg-Waeber-Innovationspreis
Charakterisierung von SiC-Wafern mit Röntgentopographie
Ein Forschungsteam von Rigaku und vom Fraunhofer IISB hat gemeinsam eine einzigartige, industrietaugliche Charakterisierungsmethode für Halbleitermaterialien realisiert und damit den Georg-Waeber-Innovationspreis 2023 gewonnen.