Advertorial: A+P Sensors and Power
Prozesse und technologische Herausforderungen bei Niederdruck MEM
Mikro-elektromechanische Systeme (MEMS) ermöglichen auf Basis von Halbleiter Fertigungsprozessen die Miniaturisierung und skalierte Produktion von Drucksensoren. Dabei sind aber eine Vielzahl von Faktoren zu beachten.