EV Group
Hochvolumen-Wafer-Bonder für 300-mm-MEMS-Fertigung
Die neuste Generation des automatisierten Produktions-Waferbonding-Systems »GEMINI« hat EV Group (EVG) eine High-Force-Bondkammer integriert, die für eine hohe Bondqualität und Ausbeute in der Hochvolumenfertigung von MEMS auf 300-mm-Wafern sorgt.