Sensirion / Sensorik
Megatrend „Personalisierte Medizin“
Fortsetzung des Artikels von Teil 2
Das Messprinzip des mikrothermischen CMOSens-Durchflusssensors
Die CMOSens-Technologie integriert einen sehr schnellen, miniaturisierten thermischen Sensor zusammen mit der gesamten hochpräzisen Auswerteschaltung auf einem einzigen CMOS-Mikrochip. Ein Heizelement auf dem Mikrochip bringt für die thermische Flussmessung eine minimale Wärmemenge in das Medium ein.
Zwei Temperatursensoren, symmetrisch oberhalb und unterhalb der Wärmequelle positioniert, erfassen mit hoher Sensitivität kleinste Temperaturdifferenzen und liefern so die grundlegende Information über die Wärmeausbreitung, die direkt mit der Fließgeschwindigkeit in Abhängigkeit steht.
Mit der Integration auf einem einzigen Chip ist sichergestellt, dass die empfindlichen analogen Sensorsignale störungsfrei und hochpräzise verstärkt, digitalisiert und weiterverarbeitet werden können, so dass der Chip dem Anwender direkt ein kalibriertes und linearisiertes Signal über eine digitale Schnittstelle zur Verfügung stellt.
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- Das Messprinzip des mikrothermischen CMOSens-Durchflusssensors
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