Feinbearbeitung in der Optoelektronik
Silizium in optischen Anwendungen
Beim Gedanken an optische Halbleiter ist Silizium nicht das erste Material, das einem in den Sinn kommt. Dennoch verfügt es über nützliche Eigenschaften, die es mittels Feinbearbeitung (Micromachining) zu einem effektiven Medium machen, wenn es darum…