Lithografie statt Ionenstrahl-Verfahren
Herstellungsverfahren für verformbares Silizium entdeckt
Silizium gilt als spröde und brüchig, was seinen Einsatz etwa in mikromechanischen Anwendungen einschränkt. Forscher der ETH Zürich fanden heraus, dass dies keine prinzipielle Materialeigenschaft ist, sondern am gängigen Herstellungsverfahren mit…