CMOS-Gas-Sensor
Simultane Detektion zweier Gase
Der »GAS 85xyB« basiert auf dem CCFET-Sensor-Konzept (Capacitive-Coupled Field-Effect Transistor) »mySENS« von Micronas. Der Sensor-Chip detektiert Amoniak und Brandgase wie z.B. Wasserstoff in der Umgebungsluft und erfasst zugleich Temperatur und Luftfeuchte.
Das IC integriert in einem LCC28-Gehäuse zwei CCFET-Kanäle. Das Sensor-Konzept basiert auf einem koventionellen MOSFET, dessen potentialfreies Gate mit einer Messelektrode verbunden ist. Dieses Gate ist kapzitiv mit einer gasempfindlichen Schicht gekoppelt, die auf das auf dem Chip aufgesetzte Gate gebracht wird. Zwischen den beiden Gates befindet sich ein Luftspalt. Dringt Gas in diesen Spalt ein, ändert sich abhängig von der Konzentration des Gases das Oberflächenpotential der gasempfindlichen Schicht und somit die Kapazität.
Eingesetzt wird der Chip in der Sauerstoffanlayse im medizinischen Bereich, als Brandmelder in Gebäuden oder im Automobilbereich.
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