Imec
Das Wärmeproblem beim Interconnect verringern
Mit der fortschreitenden Skalierung wird die Erwärmung der Interconnects im Back-End-of-Line (BEOL) immer kritischer, da sie die Zuverlässigkeit des Chips gefährden kann. Abhilfe könnte ein Modell-Framework schaffen, das die Wärmeableitung genau…