Fraunhofer HHI / Hannover Messe 2018

Erstes Dauerstrich-Terahertz-Spektrometer

17. April 2018, 15:45 Uhr | Nicole Wörner
Terahertz-Messsystem T-Sweeper mit Laserquelle Finisar WaveSource im Demonstrationsaufbau zur Schichtdickenbestimmung.
© Fraunhofer HHI

Das Fraunhofer Heinrich-Hertz-Institut HHI hat ein preisgünstiges, kompaktes Messsystem entwickelt, das erstmals Dicken von Mehrschichtsystemen in Echtzeit bestimmt. Das Mittel der Wahl: Terahertz-Strahlung.

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Terahertz ist eine Schlüsseltechnik für die zerstörungsfreie Werkstoffprüfung. Wesentliche Vorteile sind Untersuchungen ohne physischen Kontakt und die Analyse komplexer Systeme mit niedrigem Kontrastbereich, bei der etablierte Verfahren in der Regel versagen. Doch im Vergleich zu klassischen Verfahren, die heute zur zerstörungsfreien Werkstoffprüfung eingesetzt werden, etwa Röntgenstrahlung oder Ultraschall, galt die Terahertz-Technologie schlicht als zu teuer. 

In den letzten Jahren wurden jedoch zunehmend Systeme vorgestellt,…

...die auf Basis von Standardkomponenten konstruiert und damit deutlich kosteneffizienter herzustellen sind. Um die Terahertz-Technologie in der industriellen Prozesskontrolle zu etablieren, müssen die Systemkosten allerdings weiter gesenkt und die Komplexität der Systeme reduziert werden.

Die neue Entwicklung des Fraunhofer HHI…

...könnte der Terahertz-Technologie jetzt einen entscheidenden Schub verleihen. Die Forscher um Björn Globisch, Leiter der Terahertz-Forschungsgruppe am Fraunhofer HHI, haben nun ein Messgerät entwickelt, in dem die bisher eingesetzte Femtosekunden-Pulslaser durch kompakte Dauerstrich-Laser ersetzt wurden.

Entscheidend dabei ist,…

...dass dieses Dauerstrich-Messsystem acht Messungen pro Sekunde ermöglicht und damit erstmals Echtzeitmessungen ohne Verwendung eines gepulsten Lasers erlaubt. 


  1. Erstes Dauerstrich-Terahertz-Spektrometer
  2. Wie funktioniert das neue Prinzip?
  3. Anwendungsbeispiel Schichtdickenbestimmung

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