Der neue Präzisionsmessautomat »PMA 2650« von Proaut für Wafer/Panels kann 8 Zoll bis 12 Zoll durchmessende Bauteilträger aufnehmen und prüfen (elektrisch/optisch).
Die optischen Prüfungen umfassen Padflächen, Risse, Substratgrößen-Vermessung, Farbvergleiche und Fremdpartikelanalyse.