Siliziumkarbid-MOSFETs

Die neue Generation kann mehr

18. Oktober 2021, 08:00 Uhr | Christian Felgemacher, Felipe Filsecker, Vikneswaran Thayumanasamy, C. Fuentes, M. Murata, M. Terada, S. Kitagawa und A. Mashaly, Ralf Higgelke
Rohm, SiC, SiliconCarbide, Silicon Carbide
© Rohm

Über die letzten gut zehn Jahre hat Rohm mehrere Generationen an Siliziumkarbid-MOSFETs vorgestellt. Was bei der neuen, vierten Generation verbessert wurde und welche Entwicklungsunterstützung es gibt, das wird im folgenden Beitrag beleuchtet.

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Im Jahr 2010 brachte Rohm seine ersten kommerziell erhältlichen Siliziumkarbid-MOSFETs (SiC) auf den Markt. Seitdem hat das Unternehmen diese Bauteile für den Spannungsbereich von 650 V bis 1700 V stetig weiterentwickelt. Fünf Jahre später führte Rohm die ersten kommerziell erhältlichen SiC-MOSFETs in Trench-Technologie ein. Und nun, im Jahr 2021, kommt eine neue Generation von SiC-Trench-MOSFETs auf den Markt. Sie soll Anwendern eine bessere Performance bieten und sich einfacher einsetzen lassen. Die Bauteile werden sowohl als ungehäuste Chips zum Einsatz in Power-Modulen als auch in Gehäusen wie TO-247, TO-247-4L und TO-263-7L verfügbar sein und in Spannungsklassen von 750 V und 1200 V erscheinen.

Verbesserungen auf Bauteilebene

Ein Entwicklungsziel bei der vierten Generation bestand darin, den flächenspezifischen Durchlasswiderstand (RDS(on)∙A) zu reduzieren. Dadurch sinken die Durchlassverluste bei gleicher Chipfläche.

Verbesserung des flächenspezifischen On-Widerstands RDS(on)∙A für die verschiedenen Generationen von SiC-MOSFETs
Bild 1: Verbesserung des flächenspezifischen On-Widerstands  für die verschiedenen Generationen von SiC-MOSFETs .
© Rohm Semiconductor

Bild 1 zeigt die flächenspezifischen Durchlasswiderstände der drei Generationen der SiC-MOSFETs von Rohm, die kommerziell erhältlich sind. Zudem verläuft der RDS(on) über die Gate-Spannung UGS im Bereich zwischen +15 V und +18 V viel flacher, sodass sich das Bauteil sowohl mit +15 V als auch mit +18 V einschalten lässt.

Schaltverluste für einen SiC-MOSFETs der dritten und der vierten Generation von Rohm (Sperrspannung 1200 V, vergleichbarer RDS(on) bei +25 °C, Gehäuse TO-247-4L)
Bild 2, Schaltverluste für einen SiC-MOSFETs der dritten und der vierten Generation von Rohm (Sperrspannung 1200 V, vergleichbarer On-Widerstand bei +25 °C, Gehäuse TO-247-4L).
© Rohm Semiconductor

Neben den Durchlassverlusten konnte Rohm auch das Schaltverhalten verbessern. Bild 2 zeigt die Schaltverluste für zwei SiC-MOSFETs mit einer Sperrspannung von 1200 V und vergleichbarem RDS(on) bei +25 °C im TO-247-4L-Gehäuse. Mit den gewählten Konfigurationen der Gate-Ansteuerung ergeben sich sowohl beim Aus- als auch beim Einschalten vergleichbare Werte beim di/dt. Die Ergebnisse zeigen, dass für die vierte Generation die Schaltverluste um bis zu 45 Prozent sinken.

Die Verhältnisse der parasitären Kapazitäten der SiC-MOSFETs zueinander wurden bei der vierten Generation optimiert, um unerwünschte Effekte zu minimieren. Besonders hervorzuheben ist das Verhältnis von Gate-Source-Kapazität CGS zu Gate-Drain-Kapazität CGD, das nun viel größer ist. Folglich beeinflussen selbst sehr schnelle Spannungstransienten (dUDS/dt), die durch Schaltvorgänge eines Kommutierungspartners in einer Halbbrücke auf den SiC-MOSFET wirken, die Gate-Spannung UGS weniger. Dies reduziert die Wahrscheinlichkeit, dass sich der SiC-MOSFET durch positive UGS-Spitzen parasitär wieder einschaltet und dass negative Spannungsspitzen am Gate auftreten.


  1. Die neue Generation kann mehr
  2. Entwicklungsunterstützung bei SiC-MOSFETs


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