Für die ganzheitliche Qualitätskontrolle von Solar-Wafern hat GP Solar das vollintegrierte Inspektionssystem »GP WIS 2.0« entwickelt.
Die zentrale Automatisierungseinheit des Systems bildet die Grundlage für die Integration aller für die Wafer-Inspektion nötigen Messsysteme.
Eine Neuheit ist die 3D-Rauigkeitsmessung auf der gesamten Wafer-Fläche in Kombination mit einer hochentwickelten Mikrorissdetektion. Der »GP WIS 2.0« ist mit Transportbändern ausgestattet, die zuverlässige on-the-fly-Messung und einen hohen Durchsatz von mehr als 3600 Wafern pro Stunde ermöglichen und dabei gleichzeitig die Transportbelastung für die Wafer minimieren.
Das kompakte System liefert exakte Inspektionsergebnisse hinsichtlich Sägeriefen, Dicken- und Widerstandsmessungen sowie eine hundertprozentige Detektion von Mikrorissen.
Das Maschineninterface ist intuitiv steuerbar und ermöglicht neben der Maschinenkontrolle und der Bedienung der Inspektionseinheiten auch die Darstellung der Klassierungsergebnisse und Statistiken. Alle Messgrößen und -ergebnisse sind auf dem vertikal positionierten 24-Zoll-Touchscreen ablesbar.
Nach der vollständigen Inspektion werden die Wafer mittels separat verfügbarer Sortiereinheiten in verschiedene Qualitätsklassen eingeteilt.
PVSEC 2012, Halle C6, Stand 3.0