Showa Denko / SiC-Epitaxiewafer
Defektdichte halbiert
»HGE-2G« heißt die zweite Generation von hochwertigen 150-mm-Epitaxiewafern aus Siliziumkarbid (SiC), die Showa Denko nun vorgestellt hat. Die Defektdichte konnte im Vergleich zur Vorgängergeneration halbiert werden. Damit steigt die Ausbeute bei der…