nächste Generation von EUVL-Scannern
IMEC: EUV auf dem Weg zur Produktionsreife
Das belgische Forschungszenrum IMEC hat begonnen die nächste Generation von EUVL-Scannern (Extreme Ultra Violet Lithography) aus dem Hause ASML zu installieren. Das NXE:3100-System ist im Vergleich zu dem bereits installierten Alpha-Tool ein so…