Entwicklungen in der HL-Technologie
EUV kommt sicher, vielleicht, gar nicht?
Die Markt&Technik hat Experten aus Industrie und Forschung eingeladen, um mit ihnen über die Weiterentwicklungen in der Halbleitertechnologie zu diskutieren. Dabei ging es auch um die Frage, ob EUV (Extreme Ultra Violet Lithography) überhaupt noch…