Murata
Zuverlässiger MEMS-Drehratensensor für präzise Koppelnavigation
Der MEMS-Drehratensensors MEV-50C-R von Murata ermöglicht dank seiner Temperaturstabilität und Linearität die Implementierung von präzisen Koppelnavigationsfunktionen in Kfz-Navigationssystemen oder anderen GPS-basierten Anwendungen.
Die per Software kompensierte Temperaturdrift beträgt über den gesamten Betriebstemperaturbereich von -40 bis +85 °C nicht mehr als 0,6 °/s. Einen Beitrag zu Temperaturstabilität leisten auch die verwendeten Materialien: Der zentrale MEMS-Schwinger besteht aus monokristallinem Silizium, das MEMS-Sensorelement ist aus Silizium und Pyrex-Glas gefertigt, dessen Wärmeausdehnungskoeffizient im Bereich von Silizium liegt. Die Start-up-Drift, die speziell bei Anwendungen im Fahrzeug von großer Bedeutung ist, liegt während eines Zeitfenster von 0,5 s bis 5 min. nach dem Einschalten bei nur 0,1 °/s.
Die Linearität von 0,5 Prozent über den gesamten Winkelgeschwindigkeitsbereich und die niedrige Cross-Axis-Empfindlichkeit von ±5 Prozent ermöglichen die Verfolgung auch bei extrem kurvigem Straßenverlauf.
Der MEV-50C-R misst 10,0 mm x 6,2 mm x 2,9 mm und wiegt 0,3 g. Die maximale Winkelgeschwindigkeit beträgt ±70 °/s. Die spezielle Leiterstruktur des Sensors sorgt dafür, dass externe Störgrößen wie Stöße oder Vibrationen die Winkelgeschwindigkeitsmessung nicht beeinflussen.
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