Selective-Emitter- und Metal-Wrap-Through-Zellen fordern höchste Genauigkeit beim Siebdruck und der Zellausrichtung. Der Rundtakttischdrucker XSR1 von Asys liefert auch für »sensible Materialien« mit einer Zelldicke bis 100 µm beste Druckergebnisse und reduziert den Ausschuss.
Integrierte Inspektionssysteme mit hoch auflösenden Kameras sorgen dafür, dass der Drucker die Referenzmarken und sichtbare Strukturen auf der Vorderseite erkennt und der Druck deckungsgleich ausgerichtet wird. Für die optionale Bedruckung von Metal Wrap Through und Selective Emitter Zellen sowie für Doppel- oder Dualdruck wird somit kein zusätzliches Druckausrichtungsmodul erforderlich.
Der Rundtakttisch mit vier Stationen integriert alle Funktionalitäten auf kleinster Stellfläche. Auf Station 1 befindet sich ein Inspektionssystem zur Kontrolle des Wafers vor dem Druck. Mit einer Wiederholgenauigkeit von ± 10µm wird der Druck auf Station 2 durch eine automatische Ausrichtung passgenau aufgebracht. Die Ausrichtung beinhaltet eine Kanten, Zentrierungs-, Markier und Mustererkennung. Eine optionale Nachkontrolle auf Station 3 überprüft anschließend die Qualität des Drucks. Auf der letzten Station kann man optional außerdem eine Inspektion und Reinigung des Drucktischs integriert werden.
Die ausgeklügelte Druckstation des Rundtakttischdruckers ermöglicht die von Asys bekannten kurzen iebaustauschzeiten, wobei sich der Siebaustausch nicht auf den Liniendurchsatz auswirkt. Als Option bietet Asys außerdem einen integrierten Behälter für die automatische Entfernung von Waferbruchmaterial an. Durchsatzraten von bis zu 1600 Zellen pro Stunde und einfache Wartung machen den Siebdrucker zu einer verlässlichen High-Speed Lösung zur Metallisierung neuer Wafermaterialien.