First Sensor zeigt auf der Compamed seine Sensoren, die für medizintechnische Anwendungen geeignet sind. Dazu gehören Inertialsensoren und Differenzdrucksensoren, die auf verschiedenen Silizium-Fertigungstechniken basieren.
Die kapazitiven Silizium-Inertialsensoren sind in verschiedenen Version zur Messung von Neigung, Beschleunigung und Vibration erhältlich. Die Sensoren bestehen aus einem nach patentierten mikromechanischen Verfahren hergestellten Silizium-Sensorelement in Verbindung mit einer ASIC-Signalverarbeitung in einem hermetisch abgeschlossenen SMD-Gehäuse. Die Inertialsensoren können sowohl mechanisch als auch elektrisch auf die jeweilige Kundenanwendung angepasst werden. Zusätzlich stehen Evaluation-Kits für die einfache und schnelle Auswertung und Konfiguration der Sensoren zur Verfügung.
Die einkristallinen Silizium-Mikrostrukturen mit großem Aspektverhältnis gewährleisten geringe Querempfindlichkeiten, große Signal-Rausch-Abstände und eine sehr gute Temperaturstabilität. Zusätzlich minimiert die AIM-Technologie (Air gap Insulated Microstructures) parasitäre Kapazitäten durch die Isolation der Komponenten mit Hilfe eines Luftspalts.
Die Neigungssensoren mit Messbereichen von ±30° erreichen dadurch eine Rauschdichte kleiner 0,0004°/√Hz und Auflösungen kleiner 0,0015° bei einer Messfrequenz von 10 Hz. Die Beschleunigungssensoren bieten Messbereiche von ±3 g, ±8 g sowie ±15 g und erreichen eine Rauschdichte kleiner 30 µg/√Hz und Auflösungen kleiner 40 bis 95 µg bei einer Messfrequenz von 10 Hz.
Ein weiteres Highlight von First Sensor auf der Compamed ist die neue Version der durchflussbasierten Niedrigstdifferenzdrucksensoren mit 3-V-Spannungsversorgung und linearem I²C-Bus-Ausgangssignal. Die sehr flachen Manifold-Sensoren der LMI-Serie bieten Messbereiche ab 25 Pa (0,25 mbar) Messbereichsendwert und basieren auf der thermischen Messung einer Mikroströmung im Silizium-Sensorchip. Durch ihre hohe Messempfindlichkeit, Genauigkeit, Offset-Stabilität und Langlebigkeit eignen sich die Sensoren zur Durchflussmessung von Luft und Gasen nach dem Differenzdruckverfahren in einer Bypass-Anordnung. Für batteriebetriebene Anwendungen steht ein Energiesparmodus mit minimaler Ruhestromaufnahme zur Verfügung.
Die Mikroströmungs-Technologie von First Sensor reduziert den Gasfluss durch den Sensor um mehrere Größenordnungen im Vergleich zu herkömmlichen durchflussbasierten Drucksensoren. Durch die extreme Miniaturisierung des Strömungskanals erreichen die LMI-Differenzdrucksensoren eine deutlich verbesserte Beständigkeit gegenüber staubbeladener und feuchter Luft und erlauben den Einsatz von langen Verbindungsschläuchen und Filtern, ohne dass die kalibrierte Messgenauigkeit beeinflusst wird.
Halle 8a | Stand L14