THz-Wellen werden zur Spektroskopie, Schadprüfung und Schichtdickenmessung an nichtleitenden Materialien verwendet. Das Standardverfahren arbeitet mit gepulster Laserstrahlung, die auf ein spezielles Halbleitermaterial geschossen wird. Dabei entsteht sehr frequenzbreite Strahlung mit hoher Materialdurchdringung. Bis zu 60 Messungen an einem Messpunkt können pro Sekunde durchgeführt werden.
Das Fraunhofer HHI zeigt noch eine zweite Methode...