Lebensdauer von Halbleitern genauer vorhersagen
Fortsetzung des Artikels von Teil 2
Lebensdauer von Halbleitern genauer vorhersagen
In diesem Modell kommen Phänomene aus ganz verschiedenen Bereichen der Physik zum Tragen. Neben der herkömmlichen Diffusion durch Konzentrationsgradienten sind dies der Elektronenwind, hervorgerufen durch die chemische Potenzialdifferenz, die hydrostatische Spannung und die durch Wärme verursachte Atomdiffusion. In Comsol Multiphysics stehen zahlreiche Werkzeuge für die Modellierung solcher Phänomene zur Verfügung. Damit lässt sich leicht eine Geometrie erstellen, die auch die Kristallkörner und die Grenzflächen zwischen verschiedenen Komponenten, etwa den Zwischenverbindungen und Kontaktlöchern, abbildet. Ebenso einfach ist das Modellieren der jeweiligen Koeffizienten für Elektromigration und Strukturmechanik sowie das Definieren der multiphysikalischen Kopplungen zwischen den Diffusionsgleichungen für den Gleichstrom und denen für Strukturmechanik und Wärmeübertragung (Bild 3).
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