Kapazitive Energiewandler
Höhere Leistung durch Frequenzwandlung
Um mechanische in elektrische Energie im µW-Bereich zu wandeln, wird das kapazitive Prinzip bisher wenig genutzt. Dabei lassen sich derartige Wandler ultraklein in Silizium-MEMS-Technologie herstellen– hochparallel und automatisiert auf bestehenden…