Die Fraunhofer-Einrichtung für Modulare Festkörper-Technologien EMFT, Siemens, LFoundry, Ketek und Süss MicroTec haben das Center für Mikrosystemintegration München (CMM) gegründet.
Das CMM versteht sich als Technologie-Netzwerk und soll sich zum Mikrosystemtechnik-Zentrum entwickeln, das offen für die Erweiterung mit entsprechenden Partnern ist.
Das Fraunhofer EMFT sieht in dem Center die einmalige Chance eigene und gemeinsam mit den Industriepartnern durchgeführte Entwicklungen mit produkttauglichen Technologien schnell in die Anwendung zu bringen“ betont Prof. Dr. Karlheinz Bock, kommissarischer Leiter der EMFT. Die Kooperation beinhaltet in einem ersten Schritt die gemeinsame Technologie- und Produktentwicklung in den Bereichen Mikrosystem-Technologie, CMOS- bzw. fortschrittliche Silizium-Prozesse sowie vertikale Systemintegration (3D-Aufbau). Dafür bündeln die Kooperationspartner im CMM ihre Ressourcen. Einerseits werden vorhandene Reinräume und Labore der Partner gemeinsam genutzt, wobei bei Bedarf entsprechendes Equipment verlagert wird. Andererseits kann so auf redundante Räumlichkeiten bzw. Anlagen verzichtet werden. So entsteht ein gemeinsamer, sich ergänzender Technologie-, Anlagen- und Know How Pool mit modernen Prozess-Einrichtungen. Durch die effizientere Nutzung der Reinräume und kostspieligen Geräte bzw. Prozesse mit ihrem hohen Investitions- und Wartungsaufwand können die Entwicklungskosten reduziert werden. "Mit Kontakten zu anderen Fraunhofer Instituten, zahlreichen Publikationen und Beteiligungen in vielen Institutionen bzw. Entwicklungskooperationen verfügt die Fraunhofer EMFT neben seiner technologischen Expertise auch über eine internationale Marktpräsenz“, sagte Professor Dr. Ignaz Eisele, Hauptabteilungsleiter an der EMFT. „Die Industrie bringt ihrerseits ein breites Netzwerk mit internen und externen Partnern sowie Material- und Equipment-Lieferanten in die Kooperation ein. Damit ist das CMM bestens positioniert, um für eine weltweite Kundenbasis die komplette Unterstützung von der Idee bzw. Vorgabe bis hin zur Serienfertigung zu bieten.“
Die Mikrosystemtechnik ist ein Wachstumsmarkt und einer der wesentlichen Innovationsmotoren für nahezu alle Produkt- und Wirtschaftsbereiche. Die Anwendungsgebiete reichen vom Maschinenbau, über die Automobil-, Telekommunikations-, Konsum- und Leistungselektronik bis hin zur Medizin- und chemischen Verfahrenstechnik. Neben der Entwicklung und Realisierung der eigentlichen Mikrosysteme ist deren Integration in ein Makrosystem, wie z.B. ein Mobiltelefon oder Automobil, eine weitere wesentliche Aufgabe der Mikrosystemtechnik.
Die Kooperationspartner sind bisher schon auf gemeinsamen Aktivitätsfeldern wie MEMS (Mikro-Elektro-Mechanische Systeme), Silizium-Prozesse oder neue Materialien tätig, aber auch mit unterschiedlichem Fokus in Bereichen wie der vertikalen Systemintegration oder leistungsfähigen Gehäusen. Damit ergeben sich vielfältige Möglichkeiten der gemeinsamen Zusammenarbeit und für künftige Erweiterungen. Endprodukte, die von dem Leistungsspektrum des CMM bei Mikrosystemtechnik-Produkten profitieren können, reichen von Sensoren, Aktoren und Embedded-Systemen über Solarzellen und LED-Beleuchtungstechnik über bis hin zur medizinischen Diagnose.