Deutscher Zukunftspreis - Die vergangenen Preistäger

 ...als Herstellungsverfahren. Mit neuen Prozessen, etwa durch Ätzen und Abscheiden des Materials, schufen die Entwickler die Grundlage dafür, dass sich die Oberflächen-Mikromechanik für eine kostengünstige industrielle Produktion großer Stückzahlen von kleinen und sparsamen Sensoren nutzen lässt.