Bildergalerie Medica/Compamed 2018

Das Herzstück eines jeden Massenflussensor ist ein MEMS-basierter kalorimetrischer Mikrosensor, der den Gasfluss über ein thermisches Messprinzip ermittelt. Das Sensorelement ist dabei zusammen mit der vollständigen Signalaufbereitung auf einem einzigen winzigen Chip integriert.