30-nm-Chips aus Dresden
Fortsetzung des Artikels von Teil 1
Buried Wordline
Buried Wordline
Bei der Buried-Wordline-Technologie liegen die Anschlüsse für die Wordline unterhalb des Chip-Substrats, daher die Bezeichnung »buried« (vergraben). Über die Wordline erfolgt die Ansteuerung mehrerer Speicher-Kondensatoren. Die Anschlüsse für die Bitline liegen nach wie vor oberhalb des Substrats. Über die Bitline erfolgt die Auslesung der einzelnen Speicher-Kondensatoren.
Bisher lagen Wordline und Bitline übereinander und mussten jeweils von oben zu den Speicher-Kondensatoren durchkontaktiert werden. Durch die Trennung dieser beiden Leitungen vereinfacht sich die Verdrahtung der Speicherzellen. Außerdem fällt eine zusätzliche Schicht Siliziumdioxid weg, die bisher Word- und Bitline getrennt hat. Dadurch ist es möglich, die Speicherzellen einfacher und somit kleiner zu machen.
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