Mikrospiegel-Array-Chip für die optische…
Genforschung mit MEMS-Spiegel
Wenn es darum geht, sehr kleine biologische Strukturen zu studieren, ist die optische Mikroskopie immer noch Mittel der Wahl, allerdings ist die Objektbeleuchtung häufig problematisch. Dem soll ein spezieller Spiegelchip abhelfen.